面孔 | 顺义这个80后，获五项国家发明专利

半导体、集成电路这些信息化社会的高频词越来越多的被人们所熟知，但是普通人并不知道的是目前我国半导体和集成电路产业中设备和材料的整体技术水平还相对落后。顺义首批优秀青年人才——北京北方华创微电子装备有限公司单片清洗机产品经理刘效岩，作为主力参加了这方面国家重大科研项目的研究并顺利通过国家项目验收，获得5项国家发明专利。

1982年生人的刘效岩是河北黄骅人。2001 年 9 月他以优异成绩考入河北工业大学生物工程专业，2005 年和2008年在河北工大又分别攻读生物化工和微电子学与固体电子学专业，最终获得微电子学与固体电子学博士学位。2011年，为自己做了足够的知识储备的刘效岩，就职于北京七星华创集成电路装备有限公司（后改名为北京北方华创微电子装备有限公司）。

在大学期间就深入了解了我国电子产业发展“短板”的刘效岩，立志要用自己所学在集成电路领域承担起80后的一份责任。为此他在读博期间，就参加了政府支持项目300mm 抛光片清洗设备研制与产业化和300mm 65nm 铜互连清洗及化学处理设备研制与应用两个课题的研究并担任骨干。

集成电路生产水平的提升依赖于专用设备的升级换代，而目前我国半导体专用设备的整体技术水平相对落后，已经成为制约我国集成电路发展的“瓶颈”。

“300mm 65nm铜互连清洗设备研制与应用开发”项目正是针对我国集成电路发展中的“瓶颈”，以市场为导向，以创新为动力，在国家重大专项方针的指引下，对300mm 65nm铜互连清洗设备的制造技术、工艺进行深入、系统的研究和攻关，开发适用于300mm生产线65nm工艺需求的铜互连清洗设备。

刘效岩是国家科技重大专项02 中“65nm超精细清洗设备研制与产业化”项目中工艺研发及现场调试的主要负责人。前期他大量查阅相关文献、资料，带领组员自己动手反复试验，在无数次失败中总结经验，修改、调整技术方案，终于使这个项目顺利通过国家项目验收并获得多项国家专利。

在随后进行的科研成果产业化过程中，“300mm 65nm铜互连清洗设备”在刚进入客户端调试阶段出现的问题较多，刘效岩白天做实验验证分析数据、晚上和客户一起讨论解决方案，每天睡眠时间不足4小时，每天在车间内待的时间超过12小时，一直这样坚持了1个多月。终于让国内自主知识产权的300mm 65nm铜互连清洗设备投入应用。随后该设备在生产线批量化生产，填补了国内相关产业的空白。